用于扫描探针电子能谱仪的扫描隧道显微镜

• 作者: 徐春凯 郦盟 陈向军
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 扫描隧道显微镜 扫描探针电子能谱仪 超高真空腔室 原位测量
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 1320-1324
• 分类号: O485
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.11.18

摘要

扫描探针电子能谱学是正在发展中的一种结合了扫描隧道显微技术的电子能谱学技术,可以原位地获得固体表面的形貌和能谱信息.本文针对新研制的扫描探针电子能谱仪专门设计制作了一台采用横向隧道结结构、小巧紧凑、稳定对称的扫描隧道显微镜,可以工作在隧道区测量样品表面形貌,也可以在近场发射区测量表面背散射电子能谱.在高定向热解石墨和石墨基底上蒸镀的银膜样品的得到的原子分辨、纳米结构图像和原位电子能量损失谱表明这两种功能已完全实现.