激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究

• 作者: 张红妹 赵学玲 马红娜
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光掺杂 选择性发射极电池 三氯氧磷扩散 方块电阻
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 270-273,282
• 页数: 5页
• 分类号: TK513
• 语种: 中文
• DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2016.04.012

摘要

研究了激光掺杂制作选择性发射极电池的三氯氧磷(POCl3)扩散工艺.优化扩散时间、气体流量和温度控制参数,结合三氯氧磷扩散后磷硅玻璃(PSG)层中磷浓度、扩散层深度、表面掺杂浓度、扩散后方阻及激光后方块电阻的测试,得到了合适的三氯氧磷扩散工艺.与未采用优化工艺的电池相比,光电转换效率提升约0.3％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红妹		5	0	0.0	0.0
2	马红娜		3	0	0.0	0.0
3	赵学玲		3	0	0.0	0.0