PECVD变结构腔室热流场耦合规律研究

• 作者: 周玉林 常宁 杨铁牛 黄尊地
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空半导体 热流场耦合 参数控制 变结构腔室
• 年，卷（期）: 2016,（11）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 1325-1333
• 分类号: TB71
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.11.19

摘要

在真空半导体产业中,等离子体增强化学气相沉积腔室内热流场耦合的参数控制是生产工艺过程决定产品质量的关键因素.通过变结构腔室内温度和压力耦合测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型热流场耦合计算的仿真算法.对比试验结果,依次改变腔室入口流量、出口压力以及承载台温度的大小,分析计算腔室内温度和压力的耦合分布特性.变结构腔室中热流场耦合分布规律,为真空腔室结构设计及参数控制提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨铁牛	五邑大学机电工程学院	39	128	7.0	9.0
2	常宁	五邑大学轨道交通学院	19	30	3.0	4.0
3	黄尊地	五邑大学轨道交通学院	23	37	3.0	4.0
4	周玉林	五邑大学机电工程学院	3	12	2.0	3.0