AlN单晶薄膜扫描光谱椭偏研究

• 作者: 刘宁炀 刘晓燕 张志清 林丹 王君君 王巧 赵维 陈志涛
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 光谱椭偏 AlN薄膜 色散关系 各向异性
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 181-185
• 页数: 5页
• 分类号: O472.3
• 语种: 中文

摘要

采用从近红外到深紫外能谱范围的扫描光谱椭偏方法,对AlN单晶薄膜结构和光学特性进行了研究.结果显示:近红外到近紫外能谱(1.5～3.875 eV)是高透明区,椭偏光谱呈现周期性振荡;近紫外及深紫外能谱(3.875～6.25 eV)是吸收区,椭偏光谱周期性振荡逐渐消失,且在4.27 eV和5.46 eV能谱位置产生与缺陷能级相关的阶跃;在近带边能谱(6.16 eV)处,椭偏光谱出现单峰极值.由多层结构建模及Tanguy Extended色散关系拟合得到AlN单晶薄膜o光和e光对应的禁带宽度(激子束缚能),其分别约为6.32 eV(74.9 meV)和6.08 eV(70.0 meV).研究表明,禁带宽度和光学各向异性对AlN薄膜椭偏光谱具有显著影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵维		4	4	1.0	2.0
2	张志清		6	4	1.0	2.0
3	刘晓燕		4	7	2.0	2.0
4	刘宁炀		7	9	2.0	2.0
5	王君君		4	5	2.0	2.0
6	王巧		4	5	2.0	2.0
7	林丹		2	0	0.0	0.0