微缩投影系统的垂轴放大率测量

• 作者: 周烽 王丽萍 王君 王辉 苗亮 谢耀 郭本银
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TH741.5
• 字数: 2724字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162401.0001

摘要

考虑有限距光学系统的成像质量与系统垂轴放大率相关,本文提出了基于系统波像差检测的垂轴放大率测量方案.以给定的光学系统中像平面位置与物平面位置满足高斯公式和牛顿公式的原理为出发点,通过系统波像差中离焦量的变化监控物点移动微小量后像点的移动距离.然后,对牛顿公式或高斯公式微分导出轴向放大率,最终求出系统垂轴放大率.建立了垂轴放大率测量模型,给出物点的微小位移量和初始离焦量的选取标准,并系统地分析了光学元件形位公差和像点定位精度对垂轴放大率测量结果的影响.搭建了基于点衍射干涉仪的微缩投影系统波像差检测平台,测量了系统的垂轴放大率.实验显示,系统垂轴放大率的测量值与理论值的偏差优于0.24％,验证了提出的垂轴放大率测量方法的可行性和理论分析的准确性.