基于Matlab软件SiNx/SiO2叠层减反射膜厚度优化的研究

• 作者: 吕欣 崇锋 郭灵山 陈文浩
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: Matlab 钝化 SiNx/SiO2减反射膜 反射率 光子
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 22-25,48
• 页数: 5页
• 字数: 1867字
• 语种: 中文

摘要

SiNx/SiO2叠层膜作为减反射钝化膜在高效太阳电池中具有广泛的应用.本文采用光学导纳特征矩阵法,利用Matlab软件对SiNx/SiO2叠层膜的减反射效果进行系统理论研究.首次将AM1.5 G光谱、透过叠层膜到达硅片表面光子数作为衡量标准,进行减反射膜的厚度优化研究.结果表明,优化后SiNx/SiO2叠层膜厚度为70 nm+20 nm时,透过叠层膜到达硅片表面光子数最多,达到2.618×1017(1/s.cm2).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭灵山		6	2	1.0	1.0
2	吕欣		5	7	2.0	2.0
3	崇锋		6	7	2.0	2.0
4	陈文浩		3	3	1.0	1.0