大行程无耦合二维精密微定位平台设计与分析

• 作者: 孙凤 徐方超 段振云 陆鹤
• 来源期刊: 重型机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微定位平台 菱形位移放大机构 压电陶瓷驱动器 大行程
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 设计计算
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TH112
• 字数: 2711字
• 语种: 中文

摘要

为了满足当前精密重型设备对于大行程微定位平台的需求,本文提出了一种压电驱动大行程无耦合的二维精密微定位平台,该平台以压电陶瓷作为驱动元件,利用菱形位移放大机构对位移进行放大输出,同时实现了平台二维大行程、无耦合独立运动.设计了微定位平台的结构,分析了平台的工作原理;运用正交分析法研究了菱形位移放大机构位移输出的影响因素,优化了菱形位移放大机构,得出了平台优化的设计参数;通过有限元软件进行仿真分析,得到了平台的输出位移、位移放大倍数、刚度、固有频率、谐响应频率及最大位移输入时的应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段振云	沈阳工业大学机械工程学院	84	317	10.0	13.0
2	孙凤	沈阳工业大学机械工程学院	53	130	6.0	8.0
3	陆鹤	沈阳工业大学机械工程学院	4	3	1.0	1.0
4	徐方超	沈阳工业大学机械工程学院	12	11	3.0	3.0