低功耗微型磁通门的制备与分析

• 作者: 吕辉 李随源
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔铁芯 微型磁通门 MEMS 低功耗
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2584字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.01.004

摘要

针对微型磁通门传感器降低功耗的要求,利用标准MEMS工艺制备了具有多孔结构铁芯的微型磁通门传感器.经过对器件的测试与分析,这一结构的铁芯能够降低器件功耗,提高传感器的整体性能.通过比较不同多孔铁芯对磁通门最佳激励电流的影响,综合考虑器件性能和制备工艺的要求,确定了最佳的设计参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕辉	河南理工大学电气工程与自动化学院	5	25	3.0	5.0
5	李随源	焦作师范高等专科学校理工学院	14	50	5.0	6.0