一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作

• 作者: 康杰 张久超 谭晓兰
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 压电式压力传感器 纳米纤维 微机电系统 静电纺丝
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 124-126,130
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2016)01-0124-03

摘要

为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用,基于多铁纳米纤维敏感材料,利用MEMS技术、静电纺丝技术,设计制作了一种压电式压力传感器.通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析,得出纳米纤维直径越小,长度越大,即电极间距越大,纤维端电势越高,灵敏度越好.设计了传感器的结构尺寸和工艺过程,制作出了传感器样片.分析了在深硅刻蚀中掩蔽层保护出现的问题,提出了可行的工艺方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰	北方工业大学机械与材料工程学院	38	251	8.0	15.0
2	康杰	北方工业大学机械与材料工程学院	2	5	1.0	2.0
3	张久超	北方工业大学机械与材料工程学院	3	7	2.0	2.0