稀土掺杂铝酸锶长余辉薄膜制备方法的研究现状

• 作者: 曹俊 李翠云 陈连平
• 来源期刊: 有色金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 铝酸锶 薄膜 长余辉 制备方法 射频磁控溅射法
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 述 评
• 页码范围: 171-175
• 页数: 5页
• 分类号: TB34
• 字数: 3732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13258/j.cnki.nmme.2016.04.009

摘要

稀土掺杂铝酸锶薄膜在长余辉夜视照明、无损实时可视化探测、机械应力传感器、纳米光电子器件、二维温度传感器以及薄膜太阳能电池等领域具有极为广阔、诱人的应用前景。要实现以上应用，首要条件是制备出质量高、性能优良的薄膜。因此制备稀土掺杂铝酸锶薄膜成为当今研究的热点。综述了国内外制备稀土掺杂铝酸锶薄膜的主要方法，包括射频磁控溅射法、溶胶—凝胶法、脉冲激光沉积法和激光熔蒸法，并重点介绍了射频磁控溅射法；另外对各种方法的优缺点进行了阐述。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李翠云	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	19	69	6.0	6.0
2	陈连平	江西理工大学材料科学与工程学院	11	18	3.0	3.0
3	曹俊	江西理工大学材料科学与工程学院	5	11	2.0	3.0