原子力显微镜探针批量制备工艺分析

• 作者: 吴东岷 张轲 李加东 苗斌
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 探针 绝缘衬底上的硅(SOI) 自锐式 曲率半径
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 119-123
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.02.008

摘要

为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题.实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5 μm,成品率大于90％,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求.