TOF-SIMS二次离子光学系统仿真研究

• 作者: Stephen Clement 刘晓旭 包泽民 田地 邱春玲 齐国臣 龙涛
• 来源期刊: 中国测试
• 关键词: 飞行时间二次离子质谱仪 二次离子光学系统 仿真 透镜电极电压 质量分辨率
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 性能测试
• 页码范围: 130-133
• 页数: 4页
• 字数: 1772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2016.01.028

摘要

为实现飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)对二次离子束的提取并提高仪器的调试效率,采用离子光学仿真软件SIMION 8.0对TOF-SIMS二次离子光学系统进行仿真.以稳定同位素铜离子为对象,通过仿真,研究二次离子光学系统中二次离子提取系统透镜电极电压的调整对质量分辨率的影响,确定最佳透镜电极电压组合,并得到稳定同位素铜离子的仿真谱图.仿真研究表明:当初级提取电极电压为800V、单透镜有效电极电压为-4 400V时,质量分辨率最高.在TOF-SIMS实验平台上对铜样品靶进行实验测试,实验与仿真结果相吻合,表明设计的二次离子光学系统可用于TOF-SIMS仪器的二次离子束提取,为实验参数的选择提供参考,从而提高仪器调试效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田地	吉林大学仪器科学与电气工程学院	94	882	13.0	26.0
2	邱春玲	吉林大学仪器科学与电气工程学院	40	186	7.0	12.0
3	龙涛	中国地质科学院地质研究所	29	121	5.0	10.0
4	包泽民	吉林大学仪器科学与电气工程学院	9	14	2.0	3.0
5	刘晓旭	吉林大学仪器科学与电气工程学院	3	1	1.0	1.0
6	齐国臣	吉林大学仪器科学与电气工程学院	1	1	1.0	1.0
7	Stephen Clement	中国地质科学院地质研究所	1	1	1.0	1.0