光伏及LED行业用特种钼制品研究现状

• 作者: 梁静
• 来源期刊: 中国钼业
• 学科: 工学
• 关键词: 钼溅射靶 钼管靶 旋压钼坩埚
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TG146.4+12
• 字数: 3544字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13384/j.cnki.cmi.1006-2602.2016.06.001

摘要

钼溅射靶材以溅射薄膜方式被消耗,钼合金薄膜是目前信息存储、集成电路芯片、特别是平板显示器、薄膜太阳能电池、蓝宝石制造等行业中必不可少的关键材料.这些行业中用的特殊钼制品主要有钼溅射靶材,包括平面靶和管状旋转靶,制作结晶蓝宝石用的钼坩埚等.随着平面显示器面板(LCD)生产线不断向大型化发展,对平面溅射板靶的尺寸要求也越来越大.管状溅射靶材利用率理论上可达70％,大大高于平面靶20％～30％的利用率,因此降低了镀膜生产成本,是靶材发展的方向.大口径薄壁钼坩埚是蓝宝石晶体生长炉中常用的耗材,可大大降低电耗,节能效果明显,近年来得到了各厂商广泛使用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁静		30	98	6.0	7.0