金属化后陶瓷表面“红点”问题的研究

• 作者: 吕平 彭家根 邹桂娟
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: Mo-Mn法 氧化铝陶瓷 金属化 红点
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 22-25
• 分类号: TN13|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.03.05

摘要

利用SEM/EDS(扫描电镜/电子能谱)、XPS(X射线光电子能谱)结合机械截面样品制备方法,对Al2O3陶瓷金属化后表面出现的“红点”进行研究.利用SEM对陶瓷“红点”区域的形貌进行分析,利用XPS、EDS对表面元素成分及价态进行分析,利用SEM/EDS、结合机械截面样品制备方法对杂质元素的深度分布进行分析.结果表明红点区域有明显结构缺陷,致色元素主要为Cr3+.此外,还探讨了氧化铝陶瓷表面红点的显色机理.最后,通过模拟实验研究了一些工艺环节对杂质引入的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹桂娟	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	21	3.0	4.0
2	吕平	中国工程物理研究院电子工程研究所	4	2	1.0	1.0
3	彭家根	中国工程物理研究院电子工程研究所	10	25	4.0	5.0