Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中析晶的影响

• 作者: 刘金秋 彭立华 秦善
• 来源期刊: 耐火材料
• 学科: 工学
• 关键词: 熔融石英坩埚 氮化硅 结晶度 α-方石英
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 248-251
• 页数: 4页
• 分类号: TQ175.1
• 字数: 2081字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1935.2016.04.003

摘要

为了研究Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同量(质量分数为0、0.01％、0.05％和0.1％)的氮化硅粉,经注浆成型、140℃保温10 h干燥和1 150℃保温6h烧后制备了熔融石英坩埚,然后在铸锭炉中进行最高温度为1 540℃,历时约52 h的多晶硅铸锭过程,最后用透射反射偏光显微镜观察铸锭后坩埚的显微结构,用X射线衍射仪分析铸锭后坩埚的物相组成,并计算其结晶度和晶粒尺寸.结果表明:随着Si3N4添加量的增加,铸锭后熔融石英坩埚中结晶相α-方石英的含量逐渐降低,晶粒尺寸逐渐减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦善	北京大学地球与空间科学学院	56	653	14.0	23.0
2	刘金秋	北京大学地球与空间科学学院	11	26	4.0	5.0
3	彭立华	北京大学地球与空间科学学院	4	15	2.0	3.0