ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用

• 作者: 刘怀周 黄建华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电氧化物 硼掺杂氧化锌 复合薄膜 低压化学沉积 非晶硅薄膜太阳能电池
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 515-519
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2529字
• 语种: 中文

摘要

采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用.结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的长大,并可以显著提高BZO薄膜的导电能力.ITO/BZO复合薄膜具有相对较高的导电能力和光学透光率,应用在非晶硅薄膜太阳能电池时转化效率提高0.20％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄建华	湖南理工职业技术学院太阳能工程系	14	24	3.0	3.0
2	刘怀周		2	8	2.0	2.0