干冰微粒喷射技术综述

• 作者: 吕平
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 干冰微粒 喷射 清洗 抛光 真空
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 955-961
• 分类号: TN10
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.08.19

摘要

干冰微粒喷射技术是近三十年来逐渐发展起来的一种新型表面处理技术,多用于精细表面的清洗和抛光.本文综述了干冰微粒喷射技术的发展历程、原理、设备构成、技术参数和应用领域,重点对干冰微粒的凝结与碰撞、瞬态二氧化碳的溶解作用、其在真空领域的应用进行了讨论.评述了干冰微粒喷射技术的有效性,对其仍然存在的关键问题以及今后的研究方向进行展望.对干冰微粒喷射技术的基础研究、应用探索、参数优化具有参考意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕平	中国工程物理研究院电子工程研究所	4	2	1.0	1.0