微小型静电泵的设计(2)

• 作者: 刘远鹏 孙冰 田丰 高金雍 齐景爱
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 微型静电泵 静电抽压力 有效高度 近似计算 修正
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TH38
• 字数: 2712字
• 语种: 中文

摘要

推导出作用于激励膜片上的静电抽压力与微型静电泵极板间所加电场强度、电压及泵的半径、上腔高度的关系公式,并绘制出相应图、表以便选用.因为泵的静电抽压力与上腔高度有关,因此针对膜鼓起时,膜与泵顶距离增加导致静电抽力存在偏差,对静电抽力进行了修正,提出了有效上腔高度的概念,把膜鼓起后增加的体积迭加到基础上腔体积上,然后把它看成是一个以泵底面,有效上腔高度为高的整体圆柱体,再来近似计算圆柱体极板间静电抽压力,并举例介绍了修正计算过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高金雍		25	83	5.0	6.0
2	齐景爱		30	76	5.0	7.0
3	孙冰		12	46	4.0	6.0
4	田丰		20	35	4.0	4.0
5	刘远鹏		8	19	3.0	4.0