不锈钢基压电厚膜俘能器的制作与性能测试

• 作者: 杨淑 殷小林 王大志 董维杰
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电俘能器 雾化沉积 悬臂梁 柔性基底 不锈钢
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 203-206
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 1547字
• 语种: 中文

摘要

由于硅基底断裂韧性低及压电厚膜有利于提高俘能器输出功率,因此,该文提出在304不锈钢基底上制备PZT压电厚膜俘能器.304不锈钢薄片既作为基底又作为下电极,金属Pt/Ti结构作为上电极.不锈钢基底厚为30 μm,采用电流体驱动雾化沉积制备5μm厚的压电材料,通过对压电材料XRD表征,得到了在(110)晶向择优取向的钙钛矿结构.设计了长20 mm、宽5 mm压电悬臂梁结构俘能器.实验表明,压电俘能器的谐振频率为81Hz,当加速度为0.69 g(g=9.8 m/s2)时,输出开路电压峰-峰值为1.3V;负载电阻为260 kΩ时,输出功率最大(为0.758 μW),对应的功率密度为3.19 mW·cm-3· g-2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董维杰	大连理工大学电子科学与技术学院	80	585	12.0	20.0
3	王大志	大连理工大学机械工程学院	29	41	3.0	5.0
4	杨淑	大连理工大学电子科学与技术学院	2	4	1.0	2.0
7	殷小林	大连理工大学电子科学与技术学院	2	4	1.0	2.0