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摘要:
集成电路技术的快速发展,推动了人类社会各行业的蓬勃发展.然而,随着集成电路工艺特征尺寸的持续缩小,基于硅基的逻辑和存储器件单纯依靠尺寸微缩来提高性能和集成度己遇到难以克服的物理障碍,因此,以新材料、新结构和新原理为主要特征的后摩尔时代的微纳电子技术受到广泛关注,成为集成电路领域的科学前沿.本专辑紧密围绕后摩尔时代的逻辑和存储技术的发展,从上述三个方面对微纳电子技术的进展进行了概述和展望.
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篇名 微纳电子技术进展专辑·编者按
来源期刊 中国科学(物理学 力学 天文学) 学科
关键词
年,卷(期) 2016,(10) 所属期刊栏目 编者按
研究方向 页码范围 前插1
页数 1页 分类号
字数 语种 中文
DOI 10.1360/SSPMA2016-00380
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘明 中国科学院微电子研究所 207 1983 20.0 38.0
2 刘琦 中国科学院微电子研究所 28 196 8.0 13.0
传播情况
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期刊影响力
中国科学(物理学 力学 天文学)
月刊
1674-7275
11-5848/N
北京东黄城根北街16号
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2745
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