一种基于磁扭转的微镜电流传感器力学特性分析

• 作者: 王巨锋 黄梅红
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 扭转微镜 电流传感器 磁敏元件 力学分析
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 660-665
• 分类号: TN29
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2016.05.013

摘要

提出一种通过扭转引起光强变化来检测电流的磁敏传感器结构,包括扭转微镜结构和光检测部分.分析了传感器的磁敏原理和力学理论,根据结构设计综合考虑给出了传感核心部件的结构参数,通过仿真获得不同电流下扭转力矩与扭转角度、各结构参数的关系曲线,最后通过实验验证了分析的干扰信号的合理性,所要测量的交变电流信号跟测得的光强信号成正比,表明该电流传感器具有一定的实际应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄梅红	泉州师范学院应用科技学院	13	19	3.0	4.0
2	王巨锋	华侨大学信息科学与工程学院	7	0	0.0	0.0