TiN层微观结构对CVD TiC-TiCN-TiN多层涂层耐磨性能的影响

• 作者: 李赫 江南 王少龙 诸跃进 赵嫚 马付根
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: TiC-TiCN-TiN 化学气相沉积 微观结构 耐磨性能
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 51-56
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 字数: 4174字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2016.10.012

摘要

通过改变N2/H2体积比,采用化学气相沉积法在TiC-TiCN层表面制备了不同微结构的TiN层.研究了TiN层微结构对TiC-TiCN-TiN多层涂层耐磨性能的影响机制,同时对比研究了国产多层涂层与国外公司同类涂层产品在结构、硬度及耐磨性能方面的不同.结果表明,当N2/H2体积比为1.5∶1时,获得的TiC-TiCN-TiN多层涂层硬度最高,摩擦系数最小,且耐磨性能优于国外公司同类涂层产品.多层涂层的硬度以及摩擦过程中生成氧化层的减摩作用对其耐磨性能有重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江南	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	110	2450	30.0	46.0
2	诸跃进	宁波大学理学院	22	41	4.0	5.0
3	王少龙	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	5	11	2.0	3.0
4	赵嫚	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	2	8	1.0	2.0
6	李赫	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	5	10	2.0	3.0
9	马付根		1	8	1.0	1.0