MEMS三轴加速度计6位置标定方法的研究

• 作者: 李杰 石玺文 秦丽 胡陈君
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度计 误差补偿 转台标定 数学模型
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 403-406
• 页数: 4页
• 分类号: TH701
• 字数: 2743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.02.032

摘要

针对本课题组十二位置法测试时间长的问题，提出了MEMS三轴加速度计的6位置标定方法。首先建立了三轴加速度计的输入输出误差模型，然后详细介绍了6位置标定的位置编排和过程，给出了数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值的计算方法，最后通过三轴转台实验验证了6位置标定方法的可行性及模型的准确性。结果表明6位置标定方法简单可行，补偿后精度能够提高1~2个数量级，为其工程实用性奠定了理论基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦丽	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	81	421	11.0	15.0
5	李杰	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	142	1013	16.0	26.0
9	胡陈君	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	6	47	3.0	6.0
10	石玺文	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	5	44	3.0	5.0