氮气流量对TiN薄膜组织结构及力学性能的影响

• 作者: 任兴润 钟一昌 陈颢 黄柱
• 来源期刊: 有色金属科学与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiN薄膜 组织结构 显微硬度 氮气流量
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 【冶金?材料】
• 页码范围: 47-53
• 页数: 7页
• 分类号: TG142.7|TB43
• 字数: 4225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13264/j.cnki.ysjskx.2016.03.009

摘要

采用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积 TiN 薄膜，通过扫描电子显微镜、显微硬度计、CSPM5500扫描探针显微镜、X射线衍射仪、往复式摩擦磨损仪等分析测试手段，研究氮气流量对薄膜形貌、成分、结构、硬度、表面粗糙度、耐磨损等性能的影响.结果表明，随着氮气流量的增加，薄膜的显微硬度、膜厚都逐渐降低，膜基结合力逐渐增加，膜基结合力在16 mL/min时达到最大67.2 N；表面粗糙度和平均摩擦系数均在8 mL/min时最低.随着氮气流量增加,薄膜主要生长取向由（200）晶面转向（111）晶面生长；TiN薄膜的颜色也随氮气流量增大而加深,8 mL/min和12 mL/min 时为金黄色，4 mL/min和16 mL/min时颜色较差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈颢	江西理工大学材料科学与工程学院	47	289	9.0	14.0
5	任兴润	江西理工大学材料科学与工程学院	6	23	4.0	4.0
6	黄柱	江西理工大学材料科学与工程学院	7	29	4.0	5.0
7	钟一昌	江西理工大学材料科学与工程学院	1	8	1.0	1.0