磷烷中砷烷的选择性分解催化性能研究

• 作者: 丁玉强 朱颜 王仕华 王智 王陆平 许从应 马潇
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯磷烷 电子特气 砷烷 气体纯化
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 16-22
• 页数: 7页
• 分类号: TQ117
• 字数: 4073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2016.03.005

摘要

研发制备NATA-PH-1型催化剂,能够高效的将磷烷中约100×10-6砷烷去除到仪器检测限30×10-9以下,完全能够达到半导体制程关于高纯磷烷中砷烷低于100×10-9的标准。与传统沸石分子筛吸附机理不同,NATA-PH-1型催化剂能够在室温条件下诱导砷烷分解。其中砷键合在催化剂表面,氢气不属于半导体制程杂质。此催化剂在动态纯化试验中,砷烷分解容量达到4.5 L/L(线速率15 cm/s),且二次再生后仍保持高活性,与其较大的静态分解饱和量有关。目前,该催化剂已通过中试认证,已取得600 kg高纯磷烷(5 kg催化剂)。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁玉强	江南大学化学与材料工程学院	34	107	6.0	9.0
2	朱颜		1	0	0.0	0.0
3	王仕华		1	0	0.0	0.0
4	王陆平		1	0	0.0	0.0
5	王智		1	0	0.0	0.0
6	马潇		1	0	0.0	0.0
7	许从应		1	0	0.0	0.0