溶胶-凝胶法制备ZnO及Fe掺杂ZnO薄膜及其表征

• 作者: 张欣 王建刚 胡建文 马静
• 来源期刊: 河北科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜技术 ZnO薄膜 Fe掺杂 溶胶-凝胶法 结构 光学性能
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 180-184
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7535/hbkd.2016yx02011

摘要

采用溶胶-凝胶法在玻璃基体上制备了ZnO和Fe掺杂ZnO薄膜,并通过扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和紫外-可见分光光度计对所制备薄膜的表面形貌、结构和光学性能进行分析.结果表明,2种薄膜均表面光滑,为沿(101)晶面取向的纤锌矿结构;与ZnO薄膜相比,Fe掺杂ZnO薄膜表面更光滑,且晶粒尺寸从58.512 nm减小到36.460 nm;另外,Fe掺杂后,沿(101)晶面的取向程度减弱,且禁带宽度由3.1 eV增大到3.4 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马静	河北科技大学材料科学与工程学院	87	327	10.0	14.0
2	胡建文	河北科技大学材料科学与工程学院	42	279	7.0	15.0
3	王建刚	河北科技大学材料科学与工程学院	11	18	3.0	3.0
4	张欣	河北科技大学材料科学与工程学院	22	76	5.0	7.0