从专利文献分析化学气相沉积金刚石膜技术进展

• 作者: 张恒超 彭波南 范保虎
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 专利
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 37-40
• 分类号: TG174.45|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.05.10

摘要

化学气相沉积金刚石膜具有优异性能,在高新技术领域有着广泛应用.本文从国内外专利文献方面着重分析化学气相沉积金刚石膜技术研究与应用进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范保虎		7	3	1.0	1.0
2	彭波南		1	2	1.0	1.0
3	张恒超		1	2	1.0	1.0