基于静电力的微纳力值计量技术与溯源方法研究

• 作者: 张智敏 胡刚 蒋继乐
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 微纳力值 溯源方法 静电力 电磁补偿
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 理论与实验
• 页码范围: 3-7,11
• 页数: 6页
• 字数: 2827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2016.01.01

摘要

微纳量级的质量等相关物理量的计量是纳米技术发展的重要保证.先进国家计量院相继研究、建立微纳力值标准装置,实现了原子力显微镜中的悬臂梁弹性常数的可溯源标定.目前基于静电力原理的微纳力值标准装置可实现10-3~10-6N的静态力值测量,相对不确定度可控制在1%的量级.基于硅器件加工工艺得到的有源悬臂或无源悬臂可将这一范围的标准力值进行有效的传递.微纳力值在10-6N量级的计量技术拓展了传统力值计量领域,为未来实现更微小的力值标定打下坚实基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡刚	中国计量科学研究院力声所	20	52	4.0	6.0
2	张智敏	中国计量科学研究院力声所	28	78	6.0	8.0
3	蒋继乐	中国计量科学研究院力声所	6	2	1.0	1.0