高功率半导体激光器陶瓷封装散热性能研究

• 作者: 井红旗 倪羽茜 刘素平 孔金霞 祁琼 马骁宇
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率半导体激光器 有限元分析 热阻
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 561-566
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20163705.0561

摘要

为实现半导体激光器单管的高功率输出,研究了使用氮化铝和碳化硅两种陶瓷材料制成的三明治型过渡热沉的散热性能。首先使用有限元分析方法计算,然后利用光谱法测量激光器的工作热阻。数值计算和实验测量结果均显示,碳化硅制成的过渡热沉所封装器件的工作热阻更低,散热效果更好。此外,实验进一步测试了器件的光电特性,结果表明碳化硅陶瓷制成的过渡热沉封装器件的电光转换效率更高、输出功率更大。915 nm附近单管器件在注入电流15 A时的输出功率为16.3 W,最高电光转换效率达到了68.3%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马骁宇	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心	93	616	12.0	21.0
2	刘素平	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心	37	253	7.0	15.0
3	孔金霞	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心	4	22	2.0	4.0
4	井红旗	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心	13	42	3.0	6.0
5	祁琼	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心	5	27	3.0	5.0
6	倪羽茜	中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心	4	38	3.0	4.0