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流化床制备三氯氢硅工艺参数的优化
流化床制备三氯氢硅工艺参数的优化
作者:
屈敏
李仕勇
罗平
谭宗国
陈福
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅粉
三氯氢硅
流化床
摘要:
流化床制备三氯氢硅是多晶硅生产中比较常见的工艺方法。通过理论计算,选择合适粒径的硅粉,结合实际生产,总结出最优工艺参数,保证三氯氢硅合成系统稳定运行。
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文献信息
篇名
流化床制备三氯氢硅工艺参数的优化
来源期刊
云南化工
学科
工学
关键词
硅粉
三氯氢硅
流化床
年,卷(期)
2016,(4)
所属期刊栏目
科学研究
研究方向
页码范围
22-23,54
页数
3页
分类号
TQ264.1
字数
1816字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-275X.2016.04.006
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
罗平
昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
4
16
2.0
4.0
2
李仕勇
昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
2
3
1.0
1.0
3
屈敏
昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
1
3
1.0
1.0
4
谭宗国
昆明冶研新材料股份有限公司云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
4
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参考文献(0)
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引证文献(1)
二级引证文献(0)
2019(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2020(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
硅粉
三氯氢硅
流化床
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
云南化工
主办单位:
云南省化工研究院
云天化集团有限责任公司
云南煤化工集团有限公司
云南省化学化工学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-275X
CN:
53-1087/TQ
开本:
大16开
出版地:
昆明市滇池路1417号云天化集团科技楼
邮发代号:
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
6365
总下载数(次)
17
总被引数(次)
13197
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