二氧化碳对金刚石膜生长的影响

• 作者: 刘繁 吴骁 汪建华 翁俊 陈义
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 39-43
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.4.0008

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积法,以H2/CH4/CO2为混合气源,在Si基底上沉积金刚石膜,分析了微波功率和CO2对金刚石膜生长的影响.利用Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征金刚石膜,以得到样品质量、表面形貌、晶粒取向等信息.结果表明:适当提高微波功率,可以促进金刚石晶粒长大并提高(100)取向度;加入适量CO2,能提高金刚石膜质量和生长速率,并保持表面形貌不会发生明显变化,但随着CO2含量的增加,金刚石表面形貌发生较大变化,薄膜质量和沉积速率先提高后降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
3	翁俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
4	刘繁	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	22	74	4.0	8.0
7	陈义	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	7	2.0	2.0