应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石

• 作者: 冯伟 卢文壮 杨斌 杨旭 蔡文俊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积(CVD)金刚石涂层 研磨 蓝宝石 晶粒形态
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 540-546
• 页数: 7页
• 分类号: TB43|TN305.2
• 字数: 3891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162403.0540

摘要

通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了具有球状晶结构、棱锥形晶结构和棱柱形晶结构等3种不同表面特征的化学气相沉积(CVD)金刚石涂层工具,以提高其研磨效率.通过正交实验法研究了金刚石涂层晶粒形态、载荷、工作台转速、研磨时间等4个工艺参数对蓝宝石材料去除率和表面粗糙度的影响.结果表明:金刚石涂层的晶粒形态对材料去除率和表面粗糙度影响较大;球状晶结构金刚石涂层切向力较小,棱柱形晶结构金刚石涂层切向力较大;选择棱柱形晶CVD金刚石涂层工具研磨蓝宝石,在研磨加工参数为载荷0.15 MPa、转速100 r/min、研磨时间3 min时,其材料去除率为0.397 μm/min,表面粗糙度为0.354 μm.结果表明:提出的CVD金刚石涂层工具可用于进一步加工、研磨蓝宝石切片,去除其表面划痕,从而改善工件表面质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
3	杨斌	南京航空航天大学机电学院	11	45	4.0	6.0
4	冯伟	南京航空航天大学机电学院	5	28	3.0	5.0
7	杨旭	南京航空航天大学机电学院	13	31	3.0	5.0
8	蔡文俊	南京航空航天大学机电学院	3	24	3.0	3.0