精密离心机主轴回转误差测量仿真技术研究

• 作者: 凌明祥 周继昆 张荣 牛宝良 王珏
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 精密离心机 回转误差 圆度误差 三点法 电容测微仪
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 测试与故障诊断
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: TP751
• 语种: 中文
• DOI: 10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2016.06.020

摘要

精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性，必须精确测量主轴回转误差参数；介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法，利用 MATLAB对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行仿真分析，得出采样点数N、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响，基于仿真结果确定了10－6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中，实测表明，转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0．25μm，满足10－6量级高精度精密离心机的研制指标需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王珏	中国工程物理研究院总体工程研究所	28	108	6.0	8.0
2	牛宝良	中国工程物理研究院总体工程研究所	59	312	10.0	13.0
3	张荣	中国工程物理研究院总体工程研究所	41	191	8.0	11.0
4	周继昆	中国工程物理研究院总体工程研究所	18	44	3.0	5.0
5	凌明祥	中国工程物理研究院总体工程研究所	29	127	6.0	10.0