基于LabWindows/CVI在线膜厚控制仪软件设计

• 作者: 刘旸 张国同
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: Labwindows CVI DAQmx 8.0 镀膜工艺 监控
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 36-40
• 分类号: TB43|TP311.52
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2016.04.09

摘要

为实现复杂光学膜层的连续稳定镀制,提高生产效率,减少废品损失,利用Labwindows CVI 8.0软件和NI DAQmx 8.0函数支持库开发膜厚自动监控软件,结合数据采集和控制扩展卡,在工控制机内完成数据的采集、分析、计算、存储和显示,构成在线膜厚控制仪主体,控制镀膜机主机及其附属设备,在线实时监控镀膜工艺过程,使实际膜系曲线和理论设计曲线拟合,构成镀膜工艺的在线监控和自动化控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘旸		19	12	2.0	2.0
2	张国同		5	17	2.0	4.0