基于柔性电极结构的薄膜电容微压力传感器

• 作者: 史云胜 姚嘉林 杨兴 江五贵 田佳丁 邵娜
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性MEMS 电容式 压力传感器 柔性电极
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 977-983
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4322字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.07.005

摘要

基于柔性电极结构，本文设计、制作了薄膜电容微压力传感器，在阐述传感器工作原理的基础上，提出了两种设计思路，即基于柔性纳米薄膜的电容式微压力传感器和具有微结构的柔性电极薄膜电容式微压力传感器，并结合传感器的结构和柔性材料的加工特性，进一步提出了相应的力敏特性材料结构优化思路和加工流程，利用该流程得到了一种结构轻薄、工艺简单、高灵敏度的微压力传感器。经测试，本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到218 fF/mmHg，在智能穿戴和可植入压力检测等领域显示出较好的应用前景。