缓冲层和保护层提高激光增透膜损伤阈值

• 作者: 刘洪祥 张蕾 陈光 高卫东
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 缓冲层 保护层 激光增透膜 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: ?薄膜光学?
• 页码范围: 89-94
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2871字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.07.015

摘要

为提高离子束溅射制备1064 nm、532 nm双波长增透膜抗激光损伤阈值，分别在靠近基板、空气侧加镀一定厚度二氧化硅膜层，研究缓冲层、保护层对增透膜抗激光损伤阈值的影响。依据ISO21254-2损伤测试标准，测试不同膜系结构增透膜抗1064 nm波长激光损伤阈值。实验结果表明，二氧化硅缓冲层提高增透膜抗激光损伤阈值约65.4%；二氧化硅保护层提高增透膜抗激光损伤阈值约66.7%；同时加镀缓冲层、保护层增透膜抗激光损伤阈值显著提高约119%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈光	中国科学院光电技术研究所	37	210	8.0	13.0
2	张蕾	中国科学院光电技术研究所	76	956	16.0	30.0
6	刘洪祥	中国科学院光电技术研究所	10	111	5.0	10.0
7	高卫东	中国科学院光电技术研究所	19	434	11.0	19.0