高危制程气体输送系统安装调试技术探讨

• 作者: 何耀琳 曾宪友 林吉勇
• 来源期刊: 安装
• 学科: 工学
• 关键词: 制程气体 支架 管道 安装 调试
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 压力容器与管道
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TU81
• 字数: 2273字
• 语种: 中文

摘要

本文主要对高危制程气体输送系统安装调试进行探讨,提出了气瓶固定支架,管道与支架间隔离处理,规范焊接充氲保护,KF真空卡钳式法兰连接等安装调试施工方法,保证半导体制程气体输送系统高洁净度、高密闭性等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林吉勇		4	0	0.0	0.0
2	曾宪友		2	4	1.0	2.0
3	何耀琳		2	10	1.0	2.0