高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析

• 作者: 康强 杨志才 王华 王艳阳 石云波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 高量程 差动式激光干涉仪 高g值加速度计 不确定度 误差分析
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 971-976
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.3
• 字数: 3909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2016.07.004

摘要

总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究，得到实验设备的不确定度为1.7%，并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研的传感器进行了标定，得到了传感器的参考灵敏度。