柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测方法

• 作者: 任戈 吴时彬 杨伟 王松
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性光学聚酰亚胺薄膜 折射率均匀性 波面
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: ?薄膜光学?
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 1819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.07.014

摘要

针对空间应用的柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测要求，本文提出以干涉测量法为基础，采用光学聚酰亚胺薄膜制备所用基板的反射波前数据、薄膜未剥离成膜基板时上表面反射波前数据以及薄膜剥离基板后的透射波前数据有效测量此类柔性薄膜折射率均匀性。将棱镜耦合仪逐点测量数据作为对比项，实验结果表明，所提出的方法能高效可靠地对柔性薄膜全口径进行折射率均匀性检测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	王松	中国科学院光电技术研究所	30	91	6.0	8.0
6	杨伟	中国科学院光电技术研究所	27	58	5.0	6.0
7	任戈	中国科学院光电技术研究所	45	362	10.0	18.0