载荷对氟硅共掺杂类金刚石膜摩擦学性能的影响

• 作者: 张仁辉 王立平 鲁志斌
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 摩擦系数 类金刚石 载荷 Raman XPS
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 84-91
• 分类号: TH117.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.16078/j.tribology.2016.01.013

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积系统成功制备氟硅共掺杂类金刚石薄膜,采用Raman,XPS对膜层结构与成分进行表征.采用划痕仪对膜层的结合力进行了测试.摩擦测试结果显示,在载荷范围为1～6 N时,膜层具有低摩擦系数(0.05～0.1);在载荷大于6N时,摩擦系数在0.2～0.27之间.对偶磨斑的光学照片显示,在低载下(1～6 N),磨斑上存在明显的转移膜,转移膜导致膜层具有低摩擦系数;在高载下,磨合期磨斑上存在稳定的转移膜,对应于磨合期的低摩擦系数.然而在磨合期后,磨斑表面转移膜消失,结果导致高摩擦系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立平	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	57	810	15.0	27.0
2	鲁志斌	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	6	6	1.0	2.0
3	张仁辉	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点试验室	2	8	2.0	2.0