退火升温速率对LaNiO3薄膜结构和电学性能的影响

• 作者: 余远根 姜涛 李磊 王现英 祝元坤 赵爽
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 LaNiO3薄膜 退火升温速率 电阻率
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 424-429
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3753字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在SiO2/Si(100)衬底上制备了镍酸镧(LaNiO3,LNO)薄膜,并利用XRD、SEM、AFM和半导体参数分析仪等研究了退火升温速率对LNO薄膜结构和电学性能的影响.结果表明,溶胶-凝胶法制备的LNO薄膜呈现赝立方钙钛矿型多晶结构,呈(110)择优取向生长;薄膜表面平整、均匀、无裂纹.随着退火升温速率的增加,LNO薄膜的晶粒尺寸先增大后减小;其电阻率先减小后增大.在退火升温速率为20℃/min时,LNO薄膜晶粒尺寸达到最大值94 nm,电阻率达到最小值9.5 x10-4 Ω·m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王现英	上海理工大学材料科学与工程学院	22	61	5.0	7.0
2	祝元坤	上海理工大学材料科学与工程学院	9	14	2.0	3.0
3	李磊	上海理工大学材料科学与工程学院	18	56	4.0	7.0
4	赵爽	上海理工大学材料科学与工程学院	5	0	0.0	0.0
5	姜涛	上海理工大学材料科学与工程学院	9	18	2.0	4.0
6	余远根	上海理工大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0