MEMS电子听诊器微结构设计与验证

• 作者: 刘梦然 刘源 张国军 张文栋 王续博 郭楠 郭静
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 压阻原理 心音 电子听诊器 微结构
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 31-35
• 分类号: TP212.3|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.01.006

摘要

根据国内医疗应用市场对电子听诊器的需求,结合压阻原理与MEMS加工技术设计了一种具有体积小、灵敏度高等优点的MEMS电子听诊器.该听诊器可通过内部MEMS微结构接收心音并完成声电换能,所产生的电信号可方便地由后端电路进行采集与存储.首先建立微结构的力学模型,根据应用需求设计微结构的尺寸参数;其次通过有限元软件进行仿真验证;最后加工制作出听诊器样机并进行测试.测试结果表明该种MEMS听诊器可有效获取心音信号并将其转化为电信号.将MEMS压阻式传感器应用于临床听诊为心音采集提出了一种新思路,具有广泛的应用前景.