强流脉冲电子束能量密度对TiAlN涂层微观组织和硬度的影响

• 作者: 吕逍 娄长胜 王强 芦馨 金光 高景龙
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束 能量密度 TiAlN涂层 粗糙度 显微硬度
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 453-459
• 分类号: TG178|TG712
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.2016.05.008

摘要

采用不同能量密度的电子束对硬质合金刀具TiAlN涂层进行轰击处理,研究了电子束能量密度对TiAlN涂层表面改性后的微观组织和硬度的影响.利用扫描电镜(SEM)、能谱分析(EDS)、X射线衍射仪(XRD)分别对TiAlN涂层进行表面形貌观察、元素分析和物相分析,并对涂层表面进行粗糙度和显微硬度测试.结果表明,随着能量密度的增加,涂层表面更趋于致密.在相同的能量密度1.75 J·cm-2下,采用相对较低的阴极加速电压7kV和较高电流强度130 A轰击时,涂层表面粗糙度最低达0.15μm.经电子束轰击后的TiAlN相衍射峰相对强度有所提高;涂层相衍射峰不同程度地向高角度偏移,并且同样能量密度条件下加速电压越高,偏移角度越大;同时涂层相衍射峰有一定宽化趋势.表明电子束轰击后TiAlN涂层产生较大的压应力和热应力,使晶粒细化,并且在一定的热应力驱动下有利于原子扩散,形成较宽的过渡层,从而提高涂层和基体间结合力.显微硬度随着能量密度的增加呈上升趋势,而相同的能量密度条件,加速电压的提高有助于涂层表面硬化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	东北大学材料电磁过程研究教育部重点实验室	112	750	15.0	23.0
2	高景龙	沈阳理工大学材料科学与工程学院	26	100	7.0	9.0
3	金光	沈阳理工大学材料科学与工程学院	31	153	8.0	11.0
4	吕逍	沈阳理工大学材料科学与工程学院	6	16	3.0	4.0
5	娄长胜	沈阳理工大学材料科学与工程学院	21	41	4.0	4.0
6	芦馨	沈阳理工大学材料科学与工程学院	2	8	1.0	2.0