PⅢ中工作气压和占空比优化关系的数值研究

• 作者: 敬晓丹 李久会 李义 雷明凯
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入 多脉冲鞘层 流体模型 工作气压 占空比
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 1162-1168
• 分类号: O539
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.10.13

摘要

等离子体浸没离子注入中的等离子体扩散过程和鞘层演化行为分别由低压非稳态扩散流体模型与鞘层碰撞流体模型来进行描述,数值模拟研究了工作气压与占空比对离子注入剂量和能量的影响.计算结果表明,工作气压不变时,随占空比变化,一定时间内的离子注入剂量有极大值,并且极大值对应的占空比会随着工作气压降低而减小.工作气压较高时,占空比越小离子碰撞能量越高;而工作气压较低时,占空比越大离子碰撞能量越高.相同工作气压下占空比对离子注入剂量的影响要比离子碰撞能量显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷明凯	大连理工大学材料科学与技术学院表面工程研究室	115	712	14.0	19.0
2	李久会	辽宁工业大学理学院	40	79	5.0	6.0
3	敬晓丹	辽宁工业大学理学院	23	35	3.0	4.0
4	李义	辽宁工业大学理学院	32	39	3.0	4.0