激光掺杂选择性发射极太阳电池工艺研究

• 作者: 付蕊 刘虎 弭辙 白一鸣 陈吉堃 陈诺夫
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光掺杂 选择性发射极 太阳电池 串联电阻 外量子效率(EQE)
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 43-47
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.01.008

摘要

研究了激光掺杂选择性发射极太阳电池工艺中不同激光功率对磷原子掺杂浓度、硅片表面损伤程度的影响及发射极方阻与电池串联电阻随激光功率的变化情况.通过对磷原子浓度分布曲线的观察,阐明了磷原子浓度对选择性发射极电池性能的影响机理;通过对比不同激光功率掺杂条件下选择性发射极电池特性的变化,发现激光功率在40～50 W时电池的串联电阻达到最低,且串联电阻值随激光功率的增强而升高.通过实验确定了最优激光掺杂功率,并对生产线各工序参数进行整体优化,实现了使电池产业化效率稳定提升0.25％以上的激光掺杂选择性发射极太阳电池制备工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈诺夫	华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室	22	33	3.0	4.0
3	白一鸣	华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室	20	35	3.0	4.0
4	弭辙	华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室	2	2	1.0	1.0
7	付蕊	华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室	5	14	2.0	3.0
8	刘虎	华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室	12	55	3.0	7.0
9	陈吉堃	华北电力大学新能源电力系统国家重点实验室	2	3	1.0	1.0