金刚石台阶合成工艺的研究

• 作者: 刘林方 宋增民 贾传宝
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 测温 暂停时间 温度 压力曲线 台阶工艺
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2829字
• 语种: 中文

摘要

通过对合成腔体的温度、测定精确控制,设计出合理的功率曲线,寻找出科学最短的合成工艺暂停时间,以便我们充分利用合成有效生长时间,提高工艺效率。根据不同的合成时间进行拍块处理检测,确定不同阶段金刚石生长速度和合成压力的关系,通过设计不同的台阶压力工艺曲线,有效地、有目的地控制金刚石的生长速度,最大限度地利用合成时间,在最短的时间内以达到优质高产的目的。实验结果表明,在金刚石生长过程中,合成温度将上升20℃~30℃,金刚石各阶段生长速度是不一致的,合理的台阶工艺,在保证质量的情况下,单产可以提高10%以上。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾传宝		4	2	1.0	1.0
2	宋增民		3	4	1.0	2.0
3	刘林方		4	3	1.0	1.0