ZnO基透明导电薄膜的制备和掺杂改性研究进展

• 作者: 冯梦现 孙景峰 谢逊 陈磊 高春华 黄新友
• 来源期刊: 中国陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 透明导电薄膜 制备方法 掺杂改性 研究进展
• 年，卷（期）: 2016,（12）
• 所属期刊栏目: 综述与评述
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.75
• 语种: 中文
• DOI: 10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2016.12.002

摘要

ZnO基透明导电膜的研究进展迅速,其光电性能已接近锡掺杂铟氧化物透明导电薄膜(ITO),而且它相比ITO薄膜易于掺杂、更易刻蚀、在等离子体中稳定性好,未来有望成为平板显示器中取代ITO薄膜的材料.概述了氧化锌基透明导电膜的制备方法和掺杂改性研究进展,对单层膜和多层膜的制备进行了分析,对氧化锌基透明导电膜的研究趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄新友		68	534	15.0	20.0
2	高春华		43	420	12.0	18.0
3	陈磊		29	246	8.0	15.0
4	冯梦现		4	0	0.0	0.0
5	孙景峰		3	0	0.0	0.0
6	谢逊		2	0	0.0	0.0