白色光阻材料在O GS工艺中的应用

• 作者: 冯京 姚琪 张方振 张锋 徐传祥 惠官宝
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: 白色光阻 色度 耐化性 光密度
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 525-531
• 页数: 7页
• 分类号: O472+.1
• 字数: 2187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20163106.0525

摘要

分析了白色光阻材料在不同温度、不同厚度和不同化学品浸泡下色度值、分辨率和附着力的变化情况.验证了白色光阻材料在 OGS(One glass solution)触摸屏生产中的工艺条件.首先,关注白色光阻材料的光密度值(OD值)、分辨率、耐化性、耐高温性能以及在不同厚度下白色光阻材料的色度变化.然后对白色光阻材料和触摸屏制作工艺进行工艺整合,提出了采用白色光阻加黑矩阵的双层结构,可以保证白色光阻材料的 OD值,防止后面的金属线被透视出来,其中白色光阻的厚度控制在15μm,黑矩阵的厚度在1．2μm.在后续的 Photo 工艺时,调整工艺参数,加大了 PR 的厚度并加大曝光显影时间,成功解决了这种高段差造成的金属线 Open和 Remain问题,并采用 OGS工艺制作了白色光阻触摸屏样品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯京	京东方科技集团股份有限公司技术研发中心	1	0	0.0	0.0
2	徐传祥	京东方科技集团股份有限公司技术研发中心	2	2	1.0	1.0
3	张方振	京东方科技集团股份有限公司技术研发中心	1	0	0.0	0.0
4	惠官宝	京东方科技集团股份有限公司技术研发中心	4	36	2.0	4.0
5	张锋	京东方科技集团股份有限公司技术研发中心	5	37	2.0	5.0
6	姚琪	京东方科技集团股份有限公司技术研发中心	2	1	1.0	1.0