无油泵对检漏系统有效最小可检漏率影响研究

• 作者: 喻新发 孙立臣 孟冬辉 张春元 张海峰 王健 邵容平 闫荣鑫 陈金明
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 检漏 氦质谱 最小可检漏率 无油真空泵
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 941-944
• 分类号: TB774
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.08.16

摘要

真空检漏技术广泛应用于航天、航空、核工业等军工行业的密封产品测试,近些年,无油真空泵逐步代替了油封式机械泵作为检漏系统的前级泵.无油泵作为前级泵具有清洁无油的优点,但实践中经常出现检漏系统本底异常升高、检漏系统有效最小可检漏率与理论分析结果相差较大的情况.本文从检漏系统有效最小可检漏率的影响因素入手,结合容积式真空泵工作原理,分析了无油泵对检漏系统有效最小可检漏率的影响原因,并进行了实验验证,给出了改进建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫荣鑫		66	257	8.0	11.0
2	张春元		8	30	4.0	5.0
3	邵容平		21	48	4.0	6.0
4	陈金明		30	123	5.0	10.0
5	孙立臣		68	159	6.0	9.0
6	孟冬辉		30	75	6.0	7.0
7	喻新发		15	66	6.0	7.0
8	王健		11	2	1.0	1.0
9	张海峰		10	11	2.0	3.0