轴对称非球面设计参数测试技术

• 作者: 弥谦 郭忠达 阳志强 陈智利
• 来源期刊: 兵工自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面检测 拟合算法 最小二乘法 约束变尺度法
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TP206
• 字数: 3026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7690/bgzdh.2016.04.016

摘要

针对未知设计参数的旋转对称非球面,讨论了面型参数的拟合方法,对轴对称非球面设计参数测试技术进行了研究.利用接触式探针轮廓仪的测量数据,通过多项式拟合给出对称轴和顶点曲率初值,利用最小二乘法与约束变尺度迭代原理,对测量数据进行曲线拟合,获得非球面的设计参数值,拟合参数计算的面形数据与实测数据相比较,得到误差曲线及相应得面形误差PV值.拟合分析结果表明:该算法具有收敛速度快、稳定性好的特点,拟合参数很好地还原了加工曲面的设计参数,能够满足非球面镜的超精密加工精度要求,为非球面镜加工质量的评价以及后续补正加工提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弥谦	西安工业大学光电学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	60	260	9.0	14.0
2	陈智利	西安工业大学光电学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	46	203	8.0	11.0
3	郭忠达	西安工业大学光电学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	21	87	5.0	8.0
4	阳志强	西安工业大学光电学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	19	71	5.0	7.0